單個(gè)芯片的流量特性的微處理技術(shù),使氣體質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)的量程范圍大大提高。
機電一體化優(yōu)化設計,智能化的數據處理技術(shù),使流量計具有更好的重復性,實(shí)現了計量的準確、可靠。
結構的優(yōu)化,MFM流量計的壓力損失達到較小化。
采用國際較新的MF傳感技術(shù),使流量計工作更穩定、可靠。
獨有零點(diǎn)自校功能,測量更準確。
多種氣體實(shí)際標定,全量程補償。
首先區分一下氣氣體質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)(MFC)與氣體質(zhì)量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。
MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě),即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉的管內流動(dòng)時(shí)會(huì )對管壁產(chǎn)生一個(gè)力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時(shí)發(fā)現的,簡(jiǎn)稱(chēng)科氏力。